Mikrobearbetningsteknik är en mycket flexibel process, som kan producera mikrokomponenter med komplexa former. Dessutom kan den appliceras på ett brett utbud av material. Dess anpassningsförmåga gör den särskilt lämplig för snabb drift från idé till prototyp, tillverkning av komplexa 3D-strukturer och iterativ produktdesign och utveckling,
1. Fysisk mikrobearbetningsteknik
Laserstrålebehandling: en bearbetningsprocess som använder värmeenergin som styrs av laserstrålen för att avlägsna material från metallytor eller icke-metallytor. Det är mer lämpligt för spröda material med låg ledningsförmåga, men det kan användas för de flesta material.
Jonstrålebehandling: en viktig okonventionell tillverkningsteknik för mikro-/nanotillverkning. Den använder det accelererade jonflödet i vakuumkammaren för att ta bort, lägga till eller modifiera atomerna på objektets yta.
2. Kemisk mikrobearbetningsteknik
Reaktiv jonetsning (RIE): en plasmaprocess där substanser exciteras av RF-urladdning för att etsa substrat eller filmer i en lågspänningskammare. Det är en synergistisk process av kemiska aktiva ämnen och högenergijonbombardement.
Elektrokemisk bearbetning (ECM): en metod för att avlägsna metaller genom elektrokemiska processer. Det används vanligtvis för storskalig produktion och bearbetning av extremt hårda material eller material som är svåra att bearbeta med traditionella metoder. Dess användning är begränsad till ledande material. ECM kan skära små eller oregelbundna vinklar, komplexa konturer eller kaviteter i hårda och sällsynta metaller.
3. Mekanisk mikrobearbetningsteknik
Diamantsvarvning: processen att svarva eller bearbeta precisionskomponenter med en svarv eller derivatmaskin utrustad med naturligt eller syntetiskt diamantborrkrona.
Diamantfräsning: en skärprocess som kan användas för att generera en asfärisk linsuppsättning genom cirkulär skärning med ett sfäriskt diamantverktyg.
Precisionsslipning: en slipande bearbetning som gör att arbetsstycket kan bearbetas till en fin ytfinish och en mycket nära tolerans på 0.0001 ".
Polering: en slipande bearbetning, polering med argonjonstråle är en ganska stabil process, som används för att efterbehandla teleskopspeglar och korrigera kvarvarande fel av mekanisk polering eller diamantsvarvning av optiska enheter. MRF-processen är den första deterministiska poleringsprocessen. Kommersialiseras och används vid tillverkning av asfäriska linser, reflektorer, etc.
