År 1972 utvecklade Union Carbide Company i USA framgångsrikt R-θ-mode asfäriska ytbearbetningsmaskiner. Detta är en dubbelkoordinat CNC-svarv med positionsåterkoppling, som kan ändra rotationsvinkeln θ och radien R för verktygssätets styrskena i realtid för att uppnå spegelbearbetning av asfäriska ytor. Bearbetningsdiametern är upp till φ380mm, och formnoggrannheten för det bearbetade arbetsstycket är ±O. 63μm, ytjämnheten är Ra0,025μm.
Moore Company utvecklade först den asfäriska bearbetningsmaskinen M-18AG som styrdes av tre koordinater 1980. Denna verktygsmaskin kan bearbeta olika asfäriska metallspeglar med en diameter på 356 mm.
Det brittiska företaget Rank Pneumo introducerade på marknaden 1980 användningen av laseråterkopplingskontroll.
Tvåaxlig länkbearbetningsmaskin (MSG-325), verktygsmaskinen kan bearbeta asfäriska metallspeglar med en diameter på 350mm, arbetsstyckets formnoggrannhet är 0.{ {4}}.5μm, och ytjämnheten Ra är 0.01-O. 025 μm. Därefter lanserades ASG2500, ASG2500T, Nanoform300 och andra verktygsmaskiner. På basis av ovan nämnda verktygsmaskiner utvecklade företaget Nanoform600 1990. Denna verktygsmaskin kan bearbeta asfäriska speglar med en diameter på 600 mm, och formnoggrannheten hos det bearbetade arbetsstycket är bättre än 0 ,1μm, ytjämnheten är bättre än 0,01μm.
Den ultraprecisionsdiamantsvarv som representerar den höga nivån hos dagens medlemmar är amerikanen Lawrence. LODTM, som framgångsrikt utvecklades av Livermore (LLNL) laboratorium 1984, kan bearbeta arbetsstycken med en diameter på 2100 mm och en vikt på 4500 kg, och dess bearbetningsnoggrannhet kan nå 0,25 μm, och ytråheten är RaO . 0076μm, maskinen kan bearbeta plana, sfäriska och asfäriska ytor, främst för bearbetning av delar som krävs för laserfusionsteknik, delar för infraröda enheter och storskaliga himmelsspeglar.
Storskalig ultraprecisionsdiamant utvecklad av Institute of Precision Engineering (CUPE) vid Cranfield University, Storbritannien
Den högra spegelskärmaskinen kan bearbeta asfäriska speglar (koniska speglar med en maximal diameter på 1400 mm och en maximal längd på 600 mm) för stora astronomiska röntgenteleskop. Institutet har också framgångsrikt utvecklat en diamantskärmaskin som kan bearbeta den inre gyroskopiska paraboloiden och den yttre gyroskopiska hyperboloidspegeln i röntgenteleskopet.
De ultraprecisionsbearbetningsmaskiner som utvecklats i Japan används främst för att bearbeta linser och speglar som krävs för civila produkter. För närvarande inkluderar de bearbetningsmaskiner som tillverkas i Japan: ULG-l00A (H) Fujikoshi utvecklad av Toshiba Machinery ASP-L15, Toyota Koki AHN10, AHN30×25, AHN60—3D asfäriska ytbearbetningsmaskiner etc. .
